Black germanium produced by inductively coupled plasma etching

TitreBlack germanium produced by inductively coupled plasma etching
Type de publicationJournal Article
Nouvelles publications2013
AuteursSchicho, S, Jaouad, A, Sellmer, C, Morris, D, Aimez, V, Arès, R
JournalMaterials Letters
Volume94
Pagination86 - 88
Année de publication3/2013
ISBN0167577X
DOI10.1016/j.matlet.2012.12.014
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